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自控液晶光阀组式光刻快门研究 总被引:1,自引:1,他引:0
通过理论推导,构建了抗蚀剂的感光特性、光源的光效与曝光量之间的数学模型,为液晶光阀代替穿孔带提供了理论依据.结合液晶光阀的工作原理和光刻快门的控制原理,对液晶光阀组的控制进行了研究并给出了其控制电路图.通过实际光刻试验,自控液晶光阀组光刻快门机构可以完成编码图案的控制,通光控制达到了预计要求,刻出的图案清晰,线条陡直.证明液晶光阀组替代穿孔带用作光刻快门是完全可行的. 相似文献
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分析了一个新的复杂的四维混沌系统的基本特性,该系统每个方程中包含一个三次交叉乘积项,共有9个平衡点,它们相对于原点和坐标轴具有完美的对称性,并且相对于线性特性和不变流形具有很好的相似性.描述了两个同时共存的对称双翼吸引子.最后,设计了一个模拟电路来实现这个新的四维混沌系统,表明数值仿真和电路实现具有很好的一致性,同时说明在应用上由于频率不同导致的仿真与物理实现之间的重要区别.
关键词:
四维混沌系统
Lyapunov 指数
共存双翼吸引子
电路实现 相似文献
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借助Ux-Rap图像分析得出滑动变阻器的选取原则:控制电路采用限流接法时,要求滑动变阻器的最大阻值与被测电阻的阻值接近,即接近为原则;控制电路采用分压式接法时,滑动变阻器的最大阻值应远小于被测电阻的阻值,故在分压接法中,应选择阻值较小而额定电流较大的滑动变阻器. 相似文献
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研究了充有不同温度退火Fe基纳米晶粉芯LC回路的磁致频移特性(MFS),发现充有不同温度退火Fe基纳米晶粉芯LC回路的磁致频移不同,充有经600℃退火Fe基纳米晶粉芯LC回路的磁致频移最灵敏。 相似文献
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Vijay Kodiyalam 《Journal of Functional Analysis》2004,212(1):1-27
We show that certain numerical invariants associated naturally to a subfactor planar algebra constitute a complete family in the sense of determining the isomorphism class of the subfactor planar algebra.In the course of the proof, we show also that planar algebra isomorphisms of subfactor planar algebras can always be chosen to be ∗-preserving. This latter statement generalises the fact that ‘Hopf algebra isomorphisms of finite-dimensional Kac algebras can be chosen to be ∗-preserving’. 相似文献
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